高質量氟矽橡膠製品是側鏈引入氟代烷基的一類矽橡膠。常用的氟矽橡膠為含有甲基、三氟丙基和乙稀基的氟矽橡膠。氟矽膠具有良好的耐熱性及優良的耐油、耐溶劑性能，如對脂肪烴、芳香烴、氯代烴、石油基的各種燃料油、潤滑油、液壓油以及某些合成油在常溫和高溫下的穩定性均較好，這些是單純的矽橡膠所不及的。 高質量氟矽橡膠製品具有較好的低溫性能，對於單純的氟橡膠而言，是一種很大的改進。含三氟丙基的氟矽橡膠保持彈性的溫度範圍一般為-50℃至+200℃，耐高低溫性能較乙烯基矽橡膠差。且在加熱到300℃以上將會產生有毒氣體。主要應用於耐烯油、耐潤滑油的密封件、接觸件、傳感器材料，及化學品腐蝕泵、閥、油管密封件等。
